日本NIDEC尼得科晶圆搬运机器人

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产品摘要:

通过高操控性的伺服马达和控制软件,在高级别的无尘环境下,实现低振动以及平稳快速搬送。 特点: ・大搬送范围的设计・独立的双驱动系统实现2片同时取放・紧凑的构造、很小的占有面积・应对10mm的片间距・和晶圆合同片间距的2片同取放・低取片高度・具有多功能和可回旋的手臂・3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列


产品描述

基本信息

自由度 5-AXIS
可动范围「翻转轴」(deg) +/-275
可动范围「X轴」(㎜) -750~+750
可动范围「Z轴」(㎜) 470
可动范围「θ轴」(deg) +/-170
最大速度「翻转轴」(rag/sec) 9.42
最大速度「X轴」(rag/sec) 2.44(1952㎜/sec)
最大速度「Z轴」(㎜/sec) 720
最大速度「θ轴」(rag/sec) 6.54
最大速度「翻转轴」(rag/sec) 9.42
最大速度「最大可搬重量」(kg) 2
最大速度「重复精度」(㎜) +/-0.05
最大速度「本体重量」(kg) 70
最大速度「控制器」 SC5000
产品搬运公司 日本电产三協
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