5.5G玻璃基板传送机器人

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产品摘要:

5.5G真空环境下双臂玻璃转移机器人, 5.5GGlass transfer robot with double arms in Vacuum condition。


产品描述

Model Name

AR-WV5.5G-350

Structure

Cylindrical Coordinate

Moving Axes

4

 

Operating Range

A-axis

2475mm

B-axis

2475mm

θ-axis

330˚

Z-axis

350mm

 

Operating speed (MAX)

A-axis

2475mm/2.5sec

B-axis

2475mm/2.5sec

θ-axis

180˚/2.5s

Z-axis

350mm/2s

Vacuum Seal Method

Mechanical lip-seal, Bellows-seal

Repeatability

±0.5mm

Cleanliness

Class 4

Leak rate

1 x 10-7(Pa-m3/s)

Payload

50kg(Including the hand)

 

Operating Environment

Atmoshperic

Temp. : 0~40℃

Humid. : 70% under

Vaccum

Vacuum level : 1 x 10-5Pa

Temp. : 0-80℃

Robot Weight

Approximately 2000Kg

 

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